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全氟化橡膠

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全氟化橡膠特色:

全氟化橡膠(FFKM)是由TFE(主鏈)、PMVE(支鏈)及架橋所構成,它不僅具有像PTFE一樣優異的耐高溫,耐化學腐蝕的性能超(可耐1600余種化學品的腐蝕),還兼備了橡膠的高彈性,其在300℃時壓縮變形率也僅在50%以下。FFKM在與侵蝕性液體的浸漬或直接接觸中依然能保持其彈力和回彈性能。事實上,FFKM的熱穩定性往往超過了那些液體本身。全氟彈性體還具有優異的氣密性(耐真空度可達1.33*10 -7pa~1.33*10 -8pa)和高潔淨性以及耐離子體性,這些特點在半導體行業的應用也非常廣泛。全氟化橡膠常用於化工行業以及強腐蝕性的介質和高溫的場合。

全氟化橡膠應用:

  • 耐化學型:分子結構和聚四氟乙烯相似,應用在濕製程環境中,適用於腐蝕性化學介質,能抵御幾乎所有化學試劑的侵蝕,包括有機酸、無機酸、強鹼、酮類、脂類、醇類、油類。
  • 耐高溫型:高溫環境下的密封應用,傑出的抗高溫硬化的性能,又兼具橡膠的彈性,使用溫度範圍:-20℃ ~ +290℃(更高的連續使用溫度330℃),耐高溫性能材料可開發成多種密封件製品:O型圈、油封、膜片,適用於擴散製程、佈植退火製程、快速熱製程、航天和半導體工業等應用。
  • 高潔淨型:電漿製程中需要有有高潔淨彈性密封材料,全氟化橡膠製造過程中添加或不添加極少填充物與彈性硫化劑因此能確保密封材料高潔淨度,大幅提高製程良率。

優點:最佳耐熱特性、優異的抗化學特性、低出氣特性、 優異之抗等離子體特性。                        

缺點:耐低溫特性較差。原料價格較高。生產難度較高。

全氟化橡膠系列產品在半導體工業(薄膜製程中之聚氯乙烯,化學氣相沈積及蝕刻製程及各種高真空密封製程),化學工業,汽車工業,石油工業,製藥工業,電子產品,溶劑設備,核工業,航天設備及其他耐熱機械等,在苛刻的環境中,充分發揮其卓越的作用,至今為止,全氟化零部件已在眾多行業擁有近40年以上實際應用。